超純水系統是現在工業生產上使用非常頻繁的設備，由于在工業生產上對超純水的使用量非常大，一般的小型超純水機并不能滿足的事情，而超純水系統在這種時候就是用來提供大量生產用水。在電子行業生產制造過程中，由于電子設備對沖洗用水中金屬離子的含量要求非常高，基本還需要增加使用EDI電滲析技術才能將水中金屬離子去除掉。那么超純水系統只關注超純水制造水的部分就行了嗎？接下來我將為您介紹超純水系統的整體流程。

　　
　　一、 超純水系統總體介紹

  
　　
　　超純水系統總體來說一般可分為三個部分： 超純水制造區（CUB部分）； 超純水拋光循環區（FAB部分）； 超純水輸送管網（FAB各使用區）。

 
　　
　　其中超純水制造區是非常重要而且也非常復雜的部分，分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。 預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）； 一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；

 
　　
　　超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器。 但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。

 
　　
　　二、 超純水系統中各階段常用管材

 
　　
　　在超純水系統中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

　　
　　一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。設備面管一般采用內襯膠鋼管（SGP RL），對于水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透（RO）之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級法蘭。由于RO對水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應采用SUS304管；在超純水制造階段，主流程一般應采用SUS316管和CPVC管；拋光循環區主流程一般采用SUS316管（焊接連接，并要求雙面成型）和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。

 
　　
　　在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管；在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應采用耐沖擊PVC管；純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管；壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力，一般采用SUS304管或SGP管，當采用SGP管時進入電氣盤前需加過濾器。

 
　　
　　三、 超純水系統施工

 
　　
　　超純水系統水站部分施工難度最大，其主要包括三個部分：設備的搬入及安裝，共用管架的制作安裝以及管道的安裝。設備的移入一定要注意編制詳細的設備吊裝方案，特別是對于超重、超大、易損設備，千萬不可以野蠻冒險施工。共用架臺的施工要注意兩個環節：

 
　　
　　1、架臺與土建結構連接處一定要堅固，最好采用預埋鐵板。若因種種原因不能預埋，則應用化學鉚栓固定在梁上，不應使用一般的簡易膨脹螺栓。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓固定在樓板上；

 
　　
　　2、整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應力不均勻引起管道彎曲破損。 水站的管道施工除CDA、氮氣及熱交換器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統進行施工外，其他站內管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和設備周邊配管施工。開工初期兩部分可以同時進行施工。當共架直管段與設備本體配管完成之后，應該從設備周邊管道向共架管

　　
　　道進行連接配置，最終與共架管道相連形成封閉的管路系統。

 
　　
　　超純水系統管道施工與其他一般動力管道施工有很大區別，它除了要保證管道系統的密閉性外，還有更加重要的一點，就是要在施工過程中一定要保證管道的潔凈。下面我就來談談超純水系統中CPVC（氯化聚氯乙烯）和PVDF（聚偏二氟乙烯）管道特殊的施工工藝。

 
　　
　　四、 超純水系統中CPVC、PVDF管道施工 

　　
　　CPVC和PVDF管材在金屬離子及有機碳的析出、無微細粒子、無活菌繁殖等方面，都能滿足超純水系統的要求。管材及附件的加工封裝都是在超潔凈環境中進行的，因而這兩種管道的施工也有一定的特殊性。

 
　　
　　CPVC管道粘接應采用日本產85號塑料管用膠水。

 
　　
　　管道切割應采用電動帶鋸式管道切割鋸或旋轉式割管器，盡量避免用手鋸（因為手鋸切管管端毛刺多難處理）。切口的毛刺一定要清除干凈，且要對管端進行2~3毫米的倒角，以免粘接時膠水被刮入承口內，造成因人為施工不當減小粘接面使管道粘接部位泄漏。管件和管道粘接面涂膠一定要均勻，涂膠前對管件的內面及管道的外面先用白布去除外表灰塵，再用無塵布沾丙酮進行脫脂清洗。除以上外更重要的一點就是CPVC管道的潔凈施工，這也是它與其他普通PVC管道施工的最大區別。

 
　　
　　CPVC管道粘接施工嚴格的說應該在潔凈間內進行，而后再采用法蘭在現場連接。但由于施工現場的種種特殊情況，管道往往要在現場進行下料粘接安裝。但需注意在現場施工時，施工區域要相對干凈（不得有很大的灰塵）。粘接施工時禁止在地面上進行，應在加工平臺上進行粘接操作。

 
　　
　　施工時一定要戴上專用潔凈一次性手套，施工過程中禁止徒手接觸管道的內壁（因為手上的油脂粘在管內壁很難沖洗干凈）。管道在插入時使用緊線器，并劃線以確認插入的深度是否足夠。法蘭間密封材料應用PTFE（聚四氟乙烯）。堆放場所需要墊上彩條布或塑料薄膜對管道進行保護。

 
　　
　　PVDF管道全部采用焊接連接。

 
　　
　　在施工過程中，對于操作過程更要注意潔凈，同時對于施工環境的要求更加嚴格。 PVDF管道焊接必須在潔凈小室內進行，不得在一般的房間內進行施工。進入潔凈加工間必須換上專用鞋，管口及附件在潔凈間外必須封口不得外露。對于管件的包裝材料必須在施工前才能開封，在焊接操作時必須帶好一次性潔凈PVC手套，焊接前必須用異丙醇、酒精或丙酮對管端進行脫脂、清洗。清洗用布要采用無塵潔凈布，不干凈的無塵布要及時更換。輔助焊接的人員也須帶上潔凈棉手套。對于每一個焊口，焊完之后必須及時進行外觀檢查，要求焊口四周的焊露高低均勻，并高于管道外壁。

 
　　
在PVDF管道焊完之后必須及時對管口進行封扎，再運到現場采用法蘭連接，法蘭間的密封材料采用PTFE。管道安裝時先在現場量取尺寸繪制詳細的安裝加工圖，再由專人進行管道焊接加工。焊接、安裝人員各負其責以提高工作效益。

五、總結

　　
　　總之在超純水系統施工過程中，除了要滿足管道系統的密閉要求外，更重要的就是要注意提高施工人員的潔凈意識，使他們能自覺的按照潔凈管道施工要求去做，根據水處理不同階段的不同要求進行施工，以避免因施工不當對管道造成污染，使得處理水質達不到要求，引起質量事故的發生。

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